渦輪分子泵在電子顯微鏡中，可用于樣品臺(tái)、進(jìn)出樣室、電子槍等多種零部件真空環(huán)境形成與保持方面，需要同時(shí)滿足高極限真空與低振動(dòng)要求。

渦輪分子泵是一種真空泵，電鏡渦輪分子泵是應(yīng)用在電子顯微鏡（電鏡，EM）真空系統(tǒng)中，利用高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)葉輪使氣體定向流動(dòng)從而抽氣形成真空環(huán)境的裝置。

包括掃描電鏡、透射電鏡、掃描透射電鏡、場(chǎng)發(fā)射電鏡、聚焦離子束電鏡等在內(nèi)的多種電子顯微鏡，其電子槍、電子透鏡、探測(cè)器、樣品臺(tái)等零部件均需要工作在真空環(huán)境中，需要采用真空泵來(lái)形成真空條件。電鏡真空泵主要包括機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、離子泵等類型。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2024-2029年中國(guó)電鏡渦輪分子泵行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示，常規(guī)電鏡一般采用機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組合即可滿足真空度要求；真空度要求高的電鏡則需要采用機(jī)械泵與渦輪分子泵組合；超高真空度的場(chǎng)發(fā)射電鏡則需要采用機(jī)械泵、渦輪分子泵與離子泵組合，其真空度可達(dá)到10-7Pa以上。

電子顯微鏡真空度直接影響核心零部件電子槍的使用壽命以及最終成像質(zhì)量。電子槍燈絲在空氣中會(huì)氧化，進(jìn)而縮短壽命，或者因真空度不足電子槍柵極、陽(yáng)極間放電，導(dǎo)致燈絲燒斷；受空氣分子散射影響，電子束達(dá)到樣品表面的比例下降，導(dǎo)致分析效率降低，同時(shí)還會(huì)導(dǎo)致分析結(jié)果真實(shí)性降低。因此，渦輪分子泵在高真空度及超高真空度的高端電鏡領(lǐng)域不可或缺。

渦輪分子泵在電子顯微鏡中，可用于樣品臺(tái)、進(jìn)出樣室、電子槍等多種零部件真空環(huán)境形成與保持方面，需要同時(shí)滿足高極限真空與低振動(dòng)要求。在一臺(tái)高端掃描電鏡中，包含電子槍的鏡筒配置離子泵，樣品臺(tái)、進(jìn)出樣室配置渦輪分子泵，使其工作環(huán)境一直維持在真空條件下。

新思界行業(yè)分析人士表示，在海外市場(chǎng)中，電鏡渦輪分子泵生產(chǎn)商主要有美國(guó)安捷倫（Agilen）、英國(guó)愛(ài)德華（EDWARDS）、德國(guó)普發(fā)（Pfeiffer）等。Agilen推出的TwisTorr系列渦輪分子泵，采用AFS懸浮軸承技術(shù)，工作時(shí)振動(dòng)極低，在全球多款電子顯微鏡上被采用。EDWARDS推出的nEXT系列分子泵，具有高真空、分流、低振動(dòng)特點(diǎn)，可應(yīng)用于不同類型電鏡中。

在我國(guó)市場(chǎng)中，中科科儀于20世紀(jì)70年代成功研制了國(guó)內(nèi)首臺(tái)立式渦輪分子泵。現(xiàn)階段，我國(guó)渦輪分子泵生產(chǎn)能力不斷提升，但國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品在穩(wěn)定性、可靠性方面與國(guó)外產(chǎn)品相比還存在一定差距，電鏡渦輪分子泵作為高端產(chǎn)品，需求還需依靠進(jìn)口。我國(guó)渦輪分子泵研制實(shí)力進(jìn)步迅速，突破了磁懸浮等關(guān)鍵技術(shù)，電鏡渦輪分子泵自給能力有望不斷增強(qiáng)。

       原文標(biāo)題 : 【聚焦】電鏡渦輪分子泵在高端電鏡中不可或缺 我國(guó)自給能力有望不斷增強(qiáng)